氦氖激光器是使用時間zui早，技術(shù)zui成熟，應用的激光器之一。氣體原子具有確定的能級結(jié)構(gòu)，在外界的電子激發(fā)后發(fā)生能級躍遷產(chǎn)生粒子數(shù)反轉(zhuǎn)，產(chǎn)生受激輻射，發(fā)出激光。因此氦氖激光波長是純凈的單色光，線寬極窄，波長誤差只有幾納米，因此具有極大的相干長度。有些靠能帶躍遷發(fā)光的激光器如LD的單色性與相干性無法與之相比。原子能級結(jié)構(gòu)是確定的，因此激光不受溫度波動影響。加上諧振腔的作用保障了激光輸出具有良好的準直性，發(fā)散角只有幾個毫弧度。在需要良好單色性、相干性和準直性的場合，特別是精密測量領域，氣體激光器具有不可動搖的地位。

氦氖激光器主要缺點是需要高壓直流供電，需要較高的技術(shù)含量，與ＬＤ相比成本較高。   

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